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김성호 교수님의 유튜브 강의를 정리한 내용에 삼성 반도체 뉴스룸, SK 하이닉스 뉴스룸, 딴딴's 반도체사관학교, 렛유인 [반도체 이론편] 내용 참조하여 공부한 것임을 밝힙니다. * Etching Procss : Photo공정에서 정의된 영역의 하부 박막을 제거해서 원하는 반도체 회로 형상을 만드는 기술 ∴ '포토공정에서 만들어진 모양 그대로 식각을 할 수 있는지' 가 식각 능력을 판단하는 중요한 기준 * Photo공정에서 정의한 모양대로 박막 형상을 만드는 방법? ① Etching ↪ 화학 반응을 이용하여 감광제 마스크에 의해 가려지지 않고 노출된 하부 물질을 제거하는 방법 화학반응의 결과물이 (습식 식각의 경우) 물에 녹지 않거나, (건식 식각의 경우) 휘발성 반응물을 형성하지 않는 물질은 Etch ..
김성호 교수님의 유튜브 강의를 정리한 내용에 삼성 반도체 뉴스룸, SK 하이닉스 뉴스룸, 딴딴's 반도체사관학교, NNFC 종합실무과정 교육 내용 참조하여 공부한 것임을 밝힙니다. * Photolithography : Photo Litho graphy = Photo(빛) + Litho(돌) + graphein(인쇄) = 빛을 이용한 인쇄 기법 => 설계하려는 반도체 회로 정보로 만들어진 Mask와 규격화된 빛을 이용하여, Wafer 위에 회로 패턴을 전사시키는 공정 cf) Yellow room? : Photo 공정이 이루어지는 공간은 항상 노란색인 이유? = PR이 단파장의 빛에 민감하기 때문에, 장파장의 빛만을 이용한 조명을 사용하는 것! [A. Track Process..
김성호 교수님의 유튜브 강의를 정리한 내용에 삼성 반도체 뉴스룸, SK 하이닉스 뉴스룸을 참조하여 공부한 것임을 밝힙니다. 1. 반도체란? : '반(Semi) + 도체(Conductor)' => 즉, 도체와 부도체의 중간정도가 되는 물질의 집단 순수 반도체는 부도체와 같이 전기가 거의 흐르지 않지만(OFF), 인공적인 조작을 가하면 도체처럼 전류가 흐르는(ON) 특징을 가짐 전기가 통하지 않는 재질인 순수실리콘(Si)에 13족 혹은 15족의 불순물 원소를 화학적으로 결합(도핑)해 재질의 비저항 상수를 10^-4~10^2[옴-미터] 정도로 낮춘 물체 * 반도체의 역사 1. 진공관 다이오드: 증폭기능을 가지는 진공관은 전기신호의 장거리 통신에 사용 but, 초기 진공관의 부피가 너무 大, 전자빔 발생에 사용..